此外，标的物1台等离子清洗机。8月9日，中标报酬北方华创微电子配备无限公司（以下简称“北方华创”），北方华创还中标广东粤港澳大湾区国度纳米科技立异研究院1台电感耦合等离子体刻蚀机。8月9日投标平台消息显示，集微网动静，天芯互联科技无限公司等离子清洗机项目中标成果公示。

据悉，北方华创从营半导体配备、实空配备、新能源锂电配备及细密元器件营业，涉及等离子刻蚀设备（Etcher）、物理气相堆积设备（PVD）、氧化扩散设备（Oxide/Diff）等，为半导体、新能源、新材料等范畴供给处理方案。（校对/赵碧莹）